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圓盤尋邊對位系統
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案例名稱 -圓盤尋邊對位系統
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應用說明 -應用說明 Application
* 此超高精度自動圓盤對位置放機可用於各尺吋圓盤上.將圓盤置放於載具上,可透過視覺或尋邊感測器(10000筆/秒)高速採樣並由Xplanar具有相當特殊之非接觸式六軸對位方式精準對位，自動對準圓心，可依Notch、平邊、十字mark、特徵做角度補正。
* 適用於半導體產業(晶圓)、LED產業(藍寶石基板)、光電產業(玻璃)等校準對位
特色優點 Unique Features
* 非接觸式: 六軸控制之晶圓尋邊機，使用BECKHOFF Xplanar磁懸浮系統對位，實現高速化、高精度、高效率與小體積之優勢，並減少接觸到晶圓，造成晶圓髒污或受損的機率。
* 可客製化: 除了標準化視覺辨識及磁懸浮對位系統外，亦可依客戶需求使用尋邊感測器及傳統伺服(步進)馬達對位。
* 開放靈活: TwinCAT Vision支援各種品牌、各種類型的GigE工業相機，感測器支援傳統類比式外亦支援EtherCAT…等通訊協定，運動控制適用各廠牌EtherCAT馬達。
應用機種 Product Model
* Beckhoff TwinCAT Vision
* Beckhoff Xplanar
