半導體晶圓與LCD基板
精密檢測與搬運之應用

功能描述 Features

(1) 支援 Panel Mapping 檢測，實現計數、量測厚度、量測翹曲、偵測疊片、偵測斜片等功能。
(2) 透過精密感測元件，機械手臂進行動態補正功能，實行快速、精準的產品搬運。
(3) 具備感測震動功能監測 Robot 動態，掌握手臂傳送穩定性。
(4) 具備多樣環境監測功能，包含靜電、溫度、濕度、環境壓差、使用流量等，有效提升品質管理及設備管理。Structure

相關架構 Structure

(1) 採用 BECKHOFF 控制器，執行 TwinCAT 3 控制系統。
(2) 震動與環境監測：使用 EL3632 和 EL3602 監測模組，高速採集震動與微小電壓/電流訊號，搭配 TwinCAT Condition Monitoring 進行震動頻譜分析，監測手臂健康度。
(3) 視覺與對位補正：整合 TwinCAT Vision 直接在 BECKHOFF 主機內處理視覺影像，消除 Vision PC 與 Controller 間的傳輸延遲，實現Robot動態即時路徑補正。